In hohem Grade automatische RDE 530L CVD-Beschichtungs-Maschine mit zwei Reaktions-Kammern

In hohem Grade automatischer RDE 530L CVD-Beschichtungs-Ofen mit zwei Reaktions-Kammern

1. Ausrüstungs-Stärken

1,1 automatischer Modus. Entsprechend den Prozesseinstellungen werden die einzelnen Komponenten und die Prozesse automatisch gesteuert. Steuerung umfasst Ventilschalter, ProzessgasSteuerung des Datenflusses, flüssige Steuerung des Datenflusses des Prozesses, ReaktorDruckregelung, Heizungsofen und elektrische Heizungsgurttemperaturüberwachung, etc., ohne menschliche Intervention im ganzen Prozess. Der Selbsttätigkeitsprozeß verwirklicht die automatische Alambehandlung. Entsprechend verschiedenen Warnungsarten kommt er automatisch den Warnungsmodus, um die Produkte im Ofen zu schützen. Nachdem die Warnung freigegeben ist, kann sie zum Zustand vor der Warnung manuell wieder hergestellt werden.

1.2. Der Prozess wird während des Prozesses, alle Sensor-Daten überwacht und Ventilstatus werden zu den historischen Daten gespart, die jederzeit angesehen werden können.

1.3. Manueller Arbeitsmodus. Es gibt eine Sicherheitsverriegelung, die automatisch den Verschluss entsprechend der Gasart und -temperatur innerhalb des Reaktors verwirklicht, und der Reaktor kann nicht nach Belieben geöffnet sein. Der manuelle Arbeitsmodus wird mit Einknopfoperation, wie Staubsaugen, Reinigung H₂, N2reinigung, etc., keinem Bedarf, einzelne Ventile und Vakuumpumpen manuell zu bewegen eingestellt.

1.4. Die Warnungsdaten werden automatisch gespart, und die historischen Daten können jederzeit zurückgeholt werden.

2. FabrikArbeitsbereich

2,1 umgebende Feuchtigkeit und Temperatur

2.1.1 umgebende Feuchtigkeit: <90>

2.1.2 umgebende Temperatur: 5℃~40℃

2,2 Stromversorgung

2.2.1 Stromversorgung: 380V±10%, 50Hz, 5es-adrig dreiphasigsystem

2.2.2 Steuerstromversorgung: 210V~250V, 50Hz, einphasiges

2,3 Luftquelle

2.3.1 Druckluftdruck: 6-7bar,

2.3.2 AR-Druck: 2-3bar,

2.3.3 Druck und Fluss H₂: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 N2druck und -fluß: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 Co-Druck und -fluß: 2-3bar, 0-2.5slm

2.3.6 CO2-Druck und -fluß: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 Druck und Fluss CH₄: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 HCl-Druck und -fluß: 2-3bar, 0-5slm

2.3.9DruckundFluss H₂S: 2-3bar,0-0.4slm

2,4 Wasserquelle

2.4.1 Kühlwassereinlassdruck: 2-3bar, reines Wasser wird empfohlen. Die Temperatur ist 13-16°C. (Kunden müssen mit Kaltwasser ausgerüstet werden), abkühlender Wasserstrom, 5m3/h.

2.4.2 Notbereitschaftswasserquelle (vom Benutzer vorbereitet werden)

Druck: 1.5bar-2bar.